1.如果之前是能(neng)正(zheng)常使用(yong)的，出现(xian)这种情(qing)况(kuang)多数是负载发生(sheng)变化(hua)导致匹配范围超(chao)出如真空度，腔(qiang)体发生(sheng)变化(hua)。

2.如(ru)果腔体及靶(ba)材没有发生变化，可以检(jian)查一(yi)下预(yu)置位置是否太偏。可以尝(chang)试取一(yi)个T/L 50%的预(yu)置点来重新匹(pi)配。或者尝(chang)试手(shou)动(dong)调节T/L是否能(neng)够达到匹(pi)配。