SEMICON CHINA 2016 3-17日(ri)在上(shang)海新国(guo)际博览中心(xin)落下帷(wei)幕。中山市凯发旗舰网站 携公司射频电(dian)源及自动匹配器系(xi)列产品参展获得国(guo)内外商家的高度关注与认可(ke)。在半(ban)导(dao)体制造(zao)行业中，在生产芯片(pian)、处理器(qi)等半(ban)导(dao)体器(qi)件(jian)、薄膜太阳能电(dian)(dian)池、液晶等平板显示(shi)器(qi)过程中，都要用到这种电(dian)(dian)源(yuan)。是产生等离子体的配套电(dian)(dian)源(yuan),由(you)射(she)频(pin)功率(lv)源(yuan)，阻抗匹配(pei)器以及(ji)阻抗功率(lv)计组成，是八十年(nian)末期在我国新兴的高科技领域，应(ying)用于(yu)射(she)频(pin)溅(jian)射(she)，PECVD 化学气相沉积，反应(ying)离子(zi)刻(ke)蚀等(deng)设(she)备(bei)中。

在2008年以前射频电源(yuan)技术(shu)主(zhu)要掌(zhang)握(wo)在美(mei)、日、德等少(shao)数国(guo)家的少(shao)数厂(chang)家中，如美(mei)国(guo)的AE（Advanced Energy）、MKS（MKS Instruments）、日本的DAIHEN、德国(guo)的Huettinger等。

在八十年(nian)代末期我国虽然引(yin)进射(she)(she)频(pin)电(dian)(dian)源的(de)技术，也(ye)尝试做过(guo)研发生产(chan)(chan)。但是由于(yu)关(guan)键技术无法突破，主要有（固态晶(jing)体(ti)管，自(zi)动(dong)匹(pi)(pi)配(pei)(pei)）等(deng)技术限制一(yi)直(zhi)无法生产(chan)(chan)固态晶(jing)体(ti)管的(de)射(she)(she)频(pin)电(dian)(dian)源及能够自(zi)动(dong)匹(pi)(pi)配(pei)(pei)的(de)射(she)(she)频(pin)阻抗匹(pi)(pi)配(pei)(pei)器。这当(dang)中尤其(qi)以自(zi)动(dong)匹(pi)(pi)配(pei)(pei)更为重(zhong)中之重(zhong)。故我国的(de)射(she)(she)频(pin)电(dian)(dian)源研发及应用一(yi)直(zhi)停步不前(qian)。根(gen)本无法与国外的(de)射(she)(she)频(pin)电(dian)(dian)源厂商(shang)竞争(zheng)。

随(sui)着九十年代我国第(di)一台(tai)固态晶体(ti)管诞生(sheng)，但是(shi)射频自动匹配一直使(shi)凯发·k8[中国]-官方网站无(wu)法突(tu)破的(de)屏障。随(sui)着时间的(de)转移(yi)2008年中山市格美电子研发(fa)出我国(guo)第一(yi)台国(guo)产射频自动匹配器。打(da)破(po)了外(wai)国(guo)厂商一(yi)直垄断的(de)国(guo)内市场。随着这几年凯发(fa)·k8[中国(guo)]-官方网站(zhan)不断的(de)完善(shan)与改进。K-Mate         射(she)频(pin)电源及(ji)自动(dong)匹(pi)配器越来越多的(de)出现在国内的(de)实(shi)验(yan)及(ji)产线设备(bei)上。并获得(de)国内许多知名企业(ye)(ye)及(ji)行业(ye)(ye)资(zi)深人士的(de)认可。同时逐步(bu)销往一些东(dong)南(nan)亚国家。

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