VENA系列自(zi)(zi)动匹配器(qi)用于真空(kong)镀膜、等(deng)(deng)(deng)离子(zi)刻(ke)蚀、等(deng)(deng)(deng)离子(zi)清(qing)洗、物理气象沉(chen)积，化学(xue)气象沉(chen)积，磁控溅射，以及太阳能(neng)制(zhi)造设(she)备(bei)PECVD等(deng)(deng)(deng)设(she)备(bei)当(dang)中(zhong)，主要(yao)功(gong)能(neng)是实现(xian)(xian)全自(zi)(zi)动匹配，解决了现(xian)(xian)在(zai)国(guo)内真空(kong)镀膜设(she)备(bei)中(zhong)的(de)一个技(ji)术空(kong)缺；具有(you)自(zi)(zi)动，快速，可靠，高(gao)效(xiao)，准确，节(jie)省人(ren)力和(he)时(shi)(shi)间(jian)等(deng)(deng)(deng)特点。可选的(de)射频系统(tong)(tong)检测(ce)模块可实时(shi)(shi)检测(ce)出系统(tong)(tong)的(de)正反功(gong)率、驻波(bo)比、射频信(xin)号峰(feng)值电压、电流、直(zhi)流偏置电压等(deng)(deng)(deng)，从而使(shi)您能(neng)够发现(xian)(xian)并显著降低制(zhi)程变(bian)化性。

优势

●性能安全可靠，长时间工作稳定
●实时反射功率测量与控制
●优化设计、安装、使用与维修十分简便
●传输效率高，运行噪音小
●屏蔽效果好
●可外接匹(pi)配(pei)控(kong)制盒，与其他(ta)射频功(gong)率发生器配(pei)合使用

特点

●加强了镀膜与刻蚀工艺的控制
●优化的匹配算法加速匹配时间
●最大限度地减少驻波比与反射功率
●严格的可靠性测试

使用参数：