VENA系列自动匹配(pei)器用于真空镀膜、等(deng)离(li)子刻(ke)蚀、等(deng)离(li)子清洗(xi)、物理气象沉积，化(hua)学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备(bei)PECVD等(deng)设备(bei)当中(zhong)，主要功能是实现全自动匹配(pei)，解决了(le)现在国内真空镀膜设备(bei)中(zhong)的一个技术空缺；具有自动，快速，可靠，高效，准(zhun)确，节省人力(li)和(he)时间等(deng)特点。可选(xuan)的射频系统检测模块可实时检测出(chu)系统的正反(fan)功率、驻波比、射频信号峰(feng)值电压、电流、直(zhi)流偏置电压等(deng)，从(cong)而(er)使您能够发现并显著降低(di)制程(cheng)变化(hua)性。

优势

●性能安全可靠，长时间工作稳定
●实时反射功率测量与控制
●优化设计、安装、使用与维修十分简便
●传输效率高，运行噪音小
●屏蔽效果好
●可外接匹配控制盒，与其他射频功率发生器配合使(shi)用

特点

●加强了镀膜与刻蚀工艺的控制
●优化的匹配算法加速匹配时间
●最大限度地减少驻波比与反射功率
●严格的可靠性测试

使用参数：